大成建設さんの本。 半導体や液晶を始めとしてクリーンルームで製造する製品が近年は非常に多くなった。そのクリーンルームの技術を一冊にまとめた本。 なかなか判りやすく書けていて、クリーンルームを伴う製造技術を設計・管理する人には広く薦められる良…
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